乙硅烷
乙硅烷结构式
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常用名 | 乙硅烷 | 英文名 | Disilane |
|---|---|---|---|---|
| CAS号 | 1590-87-0 | 分子量 | 62.219 | |
| 密度 | 0.686 g/cm3 | 沸点 | -14.5±9.0 °C at 760 mmHg | |
| 分子式 | H6Si2 | 熔点 | -132.6ºC | |
| MSDS | 中文版 美版 | 闪点 | <10°C | |
| 符号 |
GHS02, GHS04, GHS07, GHS08 |
信号词 | Danger |
乙硅烷用途1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。 2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。 3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。 更多
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| 中文名 | 电子级乙硅烷 |
|---|---|
| 英文名 | disilane |
| 中文别名 | 乙硅烷 |
| 英文别名 | 更多 |
| 密度 | 0.686 g/cm3 |
|---|---|
| 沸点 | -14.5±9.0 °C at 760 mmHg |
| 熔点 | -132.6ºC |
| 分子式 | H6Si2 |
| 分子量 | 62.219 |
| 闪点 | <10°C |
| 精确质量 | 62.000801 |
| 外观性状 | 无色气体带有一种恶臭的气味 |
| 蒸汽压 | 2940.2±0.0 mmHg at 25°C |
| 储存条件 | 参照140206电子级硅烷。 |
| 稳定性 | 在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷类似的化学性质，比硅烷不稳定，反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定，应更加小心。 |
| 水溶解性 | soluble CS2, ethanol, benzene [MER06] |
| 计算化学 | 1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无 2.氢键供体数量:0 3.氢键受体数量:0 4.可旋转化学键数量:0 5.互变异构体数量:无 6.拓扑分子极性表面积0 7.重原子数量:2 8.表面电荷:0 9.复杂度:0 10.同位素原子数量:0 11.确定原子立构中心数量:0 12.不确定原子立构中心数量:0 13.确定化学键立构中心数量:0 14.不确定化学键立构中心数量:0 15.共价键单元数量:1 |
| 更多 | 1. 性状：无色透明液体 2. 密度（g/mL,15℃）：0.686 3. 相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：未确定 4. 熔点（ºC）：-132.5 5. 沸点（ºC,常压）：-14.5 6. 折射率：未确定 7. 闪点（ºC）：未确定 8. 自燃点或引燃温度（ºC）：未确定 9. 比旋光度（º）： 未确定 10. 蒸气压（kPa,25ºC）：未确定 11. 饱和蒸气压（kPa,60ºC）：未确定 12. 燃烧热（KJ/mol）：未确定 13. 临界温度（ºC）：未确定 14. 临界压力（KPa）：未确定 15. 油水（辛醇/水）分配系数的对数值：未确定 16. 爆炸上限（%,V/V）：未确定 17. 爆炸下限（%,V/V）：未确定 18. 溶解性：可与氢、氩、氮和氦以任意比例混合。 |
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模块1. 化学品 1.1 产品标识符 : 乙硅烷 产品名称 1.2 鉴别的其他方法 无数据资料
1.3 有关的确定了的物质或混合物的用途和建议不适合的用途
仅用于研发。不作为药品、家庭或其它用途。 模块2. 危险性概述 2.1 GHS-分类 易燃气体 (类别 1) 压力下气体 (液化气体) 急性毒性, 吸入 (类别 4) 急性毒性, 经皮 (类别 4) 皮肤刺激 (类别 2) 眼睛刺激 (类别 2A) 呼吸过敏 (类别 1) 特异性靶器官系统毒性（一次接触） (类别 3) 2.2 GHS 标记要素，包括预防性的陈述 象形图 警示词危险 危险申明 H220极易燃气体 H280内装压缩气体；遇热可能爆炸。 H312皮肤接触有害。 H315造成皮肤刺激。 H319造成严重眼刺激。 H332吸入有害。 H334吸入可能导致过敏或哮喘病症状或呼吸困难。 H335可能引起呼吸道刺激。 警告申明 预防 P210远离热源、火花、明火和热表面。- 禁止吸烟。 P261避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾. P264操作后彻底清洁皮肤。 P271只能在室外或通风良好之处使用。 P280穿戴防护手套/ 眼保护罩/ 面部保护罩。 P285如通风不足，须戴呼吸防护面罩。 响应 P302 + P352如皮肤接触：用大量肥皂和水清洗。 P304 + P340如吸入: 将患者移到新鲜空气处休息，并保持呼吸舒畅的姿势。 P305 + P351 + P338如与眼睛接触，用水缓慢温和地冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取 出，取出隐形眼镜，然后继续冲洗. P322具体措施(见本标签上提供的急救指导)。 P332 + P313如发生皮肤刺激：求医/ 就诊。 P337 + P313如仍觉眼睛刺激：求医/就诊。 P342 + P311如有呼吸系统病症：呼叫解毒中心或医生。 P362脱掉沾染的衣服，清洗后方可重新使用。 P377漏气着火：切勿灭火，除非漏气能够安全地制止。 P381除去一切点火源，如果这么做没有危险。 储存 P403 + P233存放于通风良的地方。 保持容器密闭。 P405存放处须加锁。 P410 + P403防日晒。 存放于通风良好处。 处置 P501将内容物/ 容器处理到得到批准的废物处理厂。 2.3 其它危害物 恶臭 模块3. 成分/组成信息 3.1 物 质 : H6Si2 分子式 : 62.22 g/mol 分子量 组分浓度或浓度范围 Disilane - 化学文摘登记号(CAS1590-87-0 No.)216-466-5 模块4. 急救措施 4.1 必要的急救措施描述 一般的建议 请教医生。 向到现场的医生出示此安全技术说明书。 吸入 如果吸入,请将患者移到新鲜空气处。 如呼吸停止,进行人工呼吸。 请教医生。 皮肤接触 用肥皂和大量的水冲洗。 请教医生。 眼睛接触 用大量水彻底冲洗至少15分钟并请教医生。 食入 切勿给失去知觉者通过口喂任何东西。 用水漱口。 请教医生。 4.2 主要症状和影响，急性和迟发效应 恶心, 头晕, 头痛, 咳嗽, 胸痛, 呼吸困难 4.3 及时的医疗处理和所需的特殊处理的说明和指示 无数据资料 模块5. 消防措施 5.1 灭火介质 灭火方法及灭火剂 用水雾,抗乙醇泡沫,干粉或二氧化碳灭火。 5.2 源于此物质或混合物的特别的危害 二氧化硅 5.3 给消防员的建议 如必要的话,戴自给式呼吸器去救火。 5.4 进一步信息 无数据资料 模块6. 泄露应急处理 6.1 作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序 使用个人防护用品。 避免吸入蒸气、烟雾或气体。 保证充分的通风。 人员疏散到安全区域。 6.2 环境保护措施 不要让产品进入下水道。 6.3 泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料 迅速地扫干净或吸干净。 6.4 参考其他部分 丢弃处理请参阅第13节。 模块7. 操作处置与储存 7.1 安全操作的注意事项 避免接触皮肤和眼睛。 避免吸入蒸气和烟雾。 一般性的防火保护措施。 7.2 安全储存的条件,包括任何不兼容性 贮存在阴凉处。 使容器保持密闭，储存在干燥通风处。 内含物处于压力下。 对水和潮气敏感。 7.3 特定用途 无数据资料 模块8. 接触控制和个体防护 8.1 容许浓度 最高容许浓度 没有已知的国家规定的暴露极限。 8.2 暴露控制 适当的技术控制 根据良好的工业卫生和安全规范进行操作。 休息前和工作结束时洗手。 个体防护设备 眼/面保护 面罩與安全眼鏡请使用经官方标准如NIOSH (美国) 或 EN 166(欧盟) 检测与批准的设备防护眼部。 皮肤保护 戴手套取 手套在使用前必须受检查。 请使用合适的方法脱除手套(不要接触手套外部表面),避免任何皮肤部位接触此产品. 使用后请将被污染过的手套根据相关法律法规和有效的实验室规章程序谨慎处理. 请清洗并吹干双手 所选择的保护手套必须符合EU的89/686/EEC规定和从它衍生出来的EN 376标准。 身体保护 全套防化学试剂工作服, 防护设备的类型必须根据特定工作场所中的危险物的浓度和数量来选择。 呼吸系统防护 如危险性评测显示需要使用空气净化的防毒面具，请使用全面罩式多功能防毒面具（US）或AXBEK 型（EN 14387）防毒面具筒作为工程控制的候补。如果防毒面具是保护的唯一方式，则使用全面罩式送风防 毒面具。 呼吸器使用经过测试并通过政府标准如NIOSH（US）或CEN（EU）的呼吸器和零件。 模块9. 理化特性 9.1 基本的理化特性的信息 a) 外观与性状 形状: 气体 b) 气味 无数据资料 c) 气味阈值 无数据资料 d) pH值 无数据资料 e) 熔点/凝固点 熔点/凝固点: -132.6 °C - lit. f) 沸点、初沸点和沸程 -14.5 °C - lit. g) 闪点 无数据资料 h) 蒸发速率 无数据资料 i) 易燃性(固体,气体) 无数据资料 j) 高的/低的燃烧性或爆炸性限度 爆炸下限: < 10 %(V) k) 蒸气压 无数据资料 l) 蒸汽密度 无数据资料 m) 密度/相对密度 无数据资料 n) 水溶性 无数据资料 o) n-辛醇/水分配系数 无数据资料 p) 自燃温度 无数据资料 q) 分解温度 无数据资料 r) 粘度 无数据资料 模块10. 稳定性和反应活性 10.1 反应性 无数据资料 10.2 稳定性 无数据资料 10.3 危险反应 无数据资料 10.4 应避免的条件 无数据资料 10.5 不相容的物质 强氧化剂氧, 氧化剂, 卤素, 碱 10.6 危险的分解产物 其它分解产物 - 无数据资料 模块11. 毒理学资料 11.1 毒理学影响的信息 急性毒性 无数据资料 吸入: 无数据资料 经皮: 无数据资料 皮肤刺激或腐蚀 无数据资料 眼睛刺激或腐蚀 无数据资料 呼吸道或皮肤过敏 可能引起呼吸道过敏反应。 生殖细胞突变性 无数据资料 致癌性 IARC: 此产品中没有大于或等于 0。1%含量的组分被 IARC鉴别为可能的或肯定的人类致癌物。 生殖毒性 无数据资料 特异性靶器官系统毒性（一次接触） 吸入 - 可能引起呼吸道刺激。 特异性靶器官系统毒性（反复接触） 无数据资料 吸入危险 无数据资料 潜在的健康影响 吸入吸入有害。 引起呼吸道刺激。 摄入如服入是有害的。 皮肤通过皮肤吸收有害。 造成皮肤刺激。 眼睛造成严重眼刺激。 接触后的征兆和症状 恶心, 头晕, 头痛, 咳嗽, 胸痛, 呼吸困难 附加说明 化学物质毒性作用登记: 无数据资料 模块12. 生态学资料 12.1 生态毒性 无数据资料 12.2 持久性和降解性 无数据资料 12.3 潜在的生物累积性 无数据资料 12.4 土壤中的迁移性 无数据资料 12.5 PBT 和 vPvB的结果评价 无数据资料 12.6 其它不良影响 无数据资料 模块13. 废弃处置 13.1 废物处理方法 产品 联系专业的拥有废弃物处理执照的机构来处理此物质。 受污染的容器和包装 按未用产品处置。 模块14. 运输信息 欧洲陆运危规: 3161国际海运危规: 3161国际空运危规: 3161 14.2 联合国运输名称 欧洲陆运危规: LIQUEFIED GAS, FLAMMABLE, N.O.S. (Disilane) 国际海运危规: LIQUEFIED GAS, FLAMMABLE, N.O.S. (Disilane) 国际空运危规: Liquefied gas, flammable, n.o.s. (Disilane) 客运飞机: 不允许运输 14.3 运输危险类别 欧洲陆运危规: 2.1国际海运危规: 2.1国际空运危规: 2.1 14.4 包裹组 欧洲陆运危规: -国际海运危规: -国际空运危规: - 14.5 环境危险 欧洲陆运危规: 否国际海运危规国际空运危规: 否 海洋污染物（是/否）: 否 14.6 对使用者的特别提醒 无数据资料 模块 15 - 法规信息 N/A 模块16 - 其他信息 N/A |
| 符号 |
GHS02, GHS04, GHS07, GHS08 |
|---|---|
| 信号词 | Danger |
| 危害声明 | H220-H280-H312-H315-H319-H332-H334-H335 |
| 警示性声明 | P210-P261-P280-P305 + P351 + P338-P342 + P311-P410 + P403 |
| 个人防护装备 | Eyeshields;Faceshields;Gloves;half-mask respirator (US);multi-purpose combination respirator cartridge (US) |
| 危害码 (欧洲) | F,Xn |
| 风险声明 (欧洲) | R17 |
| 安全声明 (欧洲) | S16-S24-S26-S36-S37-S39 |
| 危险品运输编码 | UN 2203 |
| 危险类别 | 2.1 |
1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。
2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
3.采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。
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J. Appl. Physiol. 81 , 205, (1997)
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| Disilicoethane |
| EINECS 216-466-5 |
| Disilane |
| Silicon dimer |
| SILICOETHANE |
| Disilicane |
| disilicon |
| SiH2=SiH2 |
| Disilicon Hexahydride |
| λ<sup>1</sup>-silanylsilicon |
| MFCD00054678 |
