硅烷

一般危化品

更新时间：2024-01-02 17:12:23

硅烷结构式	常用名	硅烷	英文名	Silicon tetrahydride
	CAS号	7803-62-5	分子量	32.11730
	密度	1.114	沸点	-112ºC
	分子式	H₄Si	熔点	-185ºC
	MSDS	N/A	闪点	N/A

硅烷用途

1.电子工业用作氮化硅、外延材料等的摻杂源。半导体超纯硅原料，是半导体工业中单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等化学气相沉积工艺的硅源，并广泛用于太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维及特种玻璃等的生产研制。 2. 用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学气相沉积、非晶硅薄膜淀积。

中文名	硅烷
英文名	silane
英文别名	更多

密度	1.114
沸点	-112ºC
熔点	-185ºC
分子式	H₄Si
分子量	32.11730
精确质量	32.00820
外观性状	无色
蒸汽密度	1.1 (vs air)
储存条件	1.贮存于干燥、阴凉、通风的库房内。钢瓶应该直立固定贮存。 2.要保护钢瓶，防止极端温度和天气的影响。不可与易燃品、氧化剂共存混运，远离火源。
稳定性	避免强氧化剂,强碱，卤素。标准状态下气体密度为1.44g/L，液体的相对密度为0.68(-185℃)。蒸气压11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。红外光谱波长2191cm-1、914cm-1。在室温时为气体状态，在储存过程中，数月之内无显著分解。因为甲硅烷几乎不溶于润滑脂，可以储存在瓶塞涂有润滑脂的容器内。化学性质：硅烷的化学性质比烷烃活泼得多，极易被氧化。在与空气接触时可发生自燃。25℃以下与氮不起作用，室温下与烃类化合物不起反应。与氧反应异常激烈，即使在-180℃温度下也会猛烈反应。硅烷与氟氯烃类灭火剂会发生激烈反应，所以不能用这类灭火剂灭火。爆炸极限为0.8%～98%。
计算化学	1、疏水参数计算参考值（XlogP）： 2、氢键供体数量：6 3、氢键受体数量：6 4、可旋转化学键数量：0 5、互变异构体数量： 6、拓扑分子极性表面积（TPSA）：121 7、重原子数量：7 8、表面电荷：0 9、复杂度：62.7 10、同位素原子数量：0 11、确定原子立构中心数量：0 12、不确定原子立构中心数量：0 13、确定化学键立构中心数量：0 14、不确定化学键立构中心数量：0 15、共价键单元数量：1
更多	1. 性状：无色气体，有大蒜恶心气味。 2. 密度（g/mL,25°C）：1.44 3. 相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：1.1 4. 熔点（ºC）：-185 5. 沸点（ºC,常压）：-111.9 6. 沸点（ºC,760mmHg）：-112 7. 蒸发热（KJ/mol）：12.5 8. 熔化热（KJ/mol）：0.67 9. 生成热（KJ/mol）：32.6 10. 比热容（KJ/(kg·K),25ºC）：1.335 11. 临界温度（ºC）：-3.5 12. 临界压力（MPa）：4.864 13. 溶解性：溶于水，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。

第一部分：化学品名称

化学品中文名称：	甲硅烷；四氢化硅
化学品英文名称：	Silane；Silicon tetrahydride
中文俗名或商品名：
Synonyms：
CAS No.：	7803-62-5
分子式：	Sil₁₄
分子量：	32.12

第二部分：成分/组成信息

纯化学品混合物

化学品名称：甲硅烷；四氢化硅

有害物成分	含量	CAS No.
甲硅烷		7803-62-5

第三部分：危险性概述

危险性类别：	第2．1类易燃气体
侵入途径：	吸入
健康危害：	吸入甲硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白，脉搏微弱，陷入半昏迷状态。
环境危害：
燃爆危险：	本品易燃，有毒

第四部分：急救措施

皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：	脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。
食入：

第五部分：消防措施

危险特性：	遇明火、高热极易燃烧。暴露在空气中能自燃。与氟、氯等能发生剧烈的化学反应。
有害燃烧产物：	氧化硅、氢气。
灭火方法及灭火剂：	切断气源。若不能立即切断气源，则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。二氧化碳。
消防员的个体防护：	消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服
禁止使用的灭火剂：
闪点(℃)：	<-50
自燃温度(℃)：	无资料
爆炸下限[%(V/V)]：	无资料
爆炸上限[%(V/V)]：	无资料
最小点火能(mJ)：
爆燃点：
爆速：
最大燃爆压力(MPa)：
建规火险分级：

第六部分：泄漏应急处理

应急处理：

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断火源。建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿一般消防防护服。切断气源，喷洒雾状水稀释，抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

第七部分：操作处置与储存

操作注意事项：

密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防静电工作服，戴乳胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

储存注意事项：

储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。钢瓶温度不应超过52℃。保持容器密封。应与氧化剂、碱类、卤素、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。

第八部分：接触控制/个体防护

最高容许浓度：	中国MAC：未制定标准苏联MAC：未制定标准美国TWA：ACGIH 5ppm，6．6mg／m3
监测方法：
工程控制：	生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：	空气中浓度超标时，应该佩带防毒口罩。必要时佩带自给式呼吸器。
眼睛防护：	一般不需特殊防护，高浓度接触时可戴安全防护眼镜。
身体防护：	穿工作服。
手防护：	一般不需特殊防护。
其他防护：	工作现场严禁吸烟。进入罐或其它高浓度区作业，须有人监护。

第九部分：理化特性

外观与性状：	无色气体，有恶臭。
pH：
熔点(℃)：	-185
沸点(℃)：	-112
相对密度(水=1)：	0．68／—182℃
相对蒸气密度(空气=1)：	无资料
饱和蒸气压(kPa)：	无资料
燃烧热(kJ/mol)：
临界温度(℃)：	分解温度(℃)：400
临界压力(MPa)：
辛醇/水分配系数的对数值：
闪点(℃)：	<-50
引燃温度(℃)：	无资料
爆炸上限%(V/V)：	无资料
爆炸下限%(V/V)：	无资料
分子式：	Sil₁₄
分子量：	32.12
蒸发速率：
粘性：
溶解性：	溶于苯、四氯化碳。
主要用途：	用作固态电器、布漆。

第十部分：稳定性和反应活性

稳定性：	在常温常压下不稳定
禁配物：	强氧化剂、氧、碱、卤素。
避免接触的条件：	受热、接触潮湿空气。
聚合危害：	不能出现
分解产物：	氧化硅、氢气。

第十一部分：毒理学资料

急性毒性：	LD50： LC50：9600ppm 4小时(大鼠吸入)
急性中毒：
慢性中毒：
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：

第十二部分：生态学资料

生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：

第十三部分：废弃处置

废弃物性质：
废弃处置方法：	根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：

第十四部分：运输信息

危险货物编号：	21050
UN编号：	2203
包装标志：
包装类别：
包装方法：	钢质气瓶；安瓿瓶外普通木箱。
运输注意事项：	易燃压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。远离火种、热源。钢瓶温度不应超过52℃。防止阳光直射。保持容器密封。应与氧化剂分开存放。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型，开关设在仓外。配备相应品种和数量的
RETCS号：
IMDG规则页码：

第十五部分：法规信息

国内化学品安全管理法规：

化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.1 类易燃气体。

国际化学品安全管理法规：

第十六部分：其他信息

参考文献：	1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989
填表时间：	年月日
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：
其他信息：	1
MSDS修改日期：	年月日

硅烷毒理学数据:

接触硅烷眼睛会受到刺激，吸入会导致头痛、恶心、黏膜和呼吸道的刺激。在职业环境里暴露于硅烷的阈值极限的8小时时间权重平均值（TLVTWA）为5×10-6，这已经被美国政府工业卫生学者会议（ACGIH）所确定，并被美国职业安全和健康管理局（OSHA）所采用。使用时应作好防护。

硅烷毒性英文版

危害码 (欧洲)	F+:Highlyflammable;Xn:Harmful;
风险声明 (欧洲)	R12;R17;R20
安全声明 (欧洲)	S9-S16-S33-S36/37/39
危险品运输编码	UN 2203
WGK德国	1
RTECS号	VV1400000
危险类别	2.1
海关编码	3910000000

1.如图组装装置。在反应瓶和加料漏斗里分别装入1.14g LiAlH4于70mL乙醚中的溶液和2.30mL SiCl4于50mL乙醚中的图硅烷的制备装置溶液。在整个合成过程中，把冷浴和指型冷却管分别保持在-15～-20℃和-78.5℃。将仪器抽空后，乙醚开始回流，此时必须要注意避免过多的骤沸。然后，将靠近反应装置的U形管接收器冷却到-95℃(用甲苯冻膏)，其余四个接收器冷却到-196℃(液氮)。在搅拌下，用15min将SiCl4+乙醚溶液加入到LiAlH4悬浮液中。为了避免乙醚剧烈回流，使甲硅烷连续地以中等速度分出。调节反应器和真空管路之间的玻璃活塞便可以容易地控制反应速度。将SiCl4加完后，继续搅拌15～20min，以保证反应完全。在此期间，将反应器和真空系统切断以免乙醚逃逸过多。当甲硅烷从真空系统排净之后，将空气通入反应器，拆开真空系统。

7803-62-5 preparation

图XIV-7 硅烷的制备装置

从液氮冷却的接收器中取出分离物(甲硅烷及痕量乙醚)，集中到一起，将-95℃接收器接收的物料放掉(主要为乙醚)。为了除去痕量的乙醚，最好在-130℃的接收器通过5次(用戊烷冷却)，而收集在-196℃接收器中，纯甲硅烷的收率为SiCl4的80%。杂质有氯化氢，此氯化氢，以-160℃接收器来代替-130℃接收器，几乎可以完全除去。最后残余的痕量氯化氢，用水或湿的1，2-二甲氧基乙烷处理之后，通过-130℃接收器可以除去。

图Lely电炉

A—石墨圆筒；B—绝热区；

C—石墨棒；D—石墨发热体；

E—单晶成长坩埚；F—测温

用观察缝；G—测温窗

海关编码	3910000000

MFCD00011228

Sila-Cycrimin

Silanol,cyclopentylphenyl[2-(1-piperidinyl)ethyl]

EINECS 232-263-4

Silicon tetrahydride

硅烷

硅烷用途

硅烷名称

硅烷物理化学性质

硅烷MSDS

硅烷毒性和生态

硅烷安全信息

硅烷制备

硅烷海关

硅烷英文别名