四氟化碳

【用途一】
用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂
【用途二】
用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。

[ 密度 ]:
3.04 (vs air)

[ 沸点 ]:
−130 °C(lit.)

[ 熔点 ]:
−184 °C(lit.)

[ 分子式 ]:
CF₄

[ 分子量 ]:
88.00430

[ 精确质量 ]:
87.99360

[ LogP ]:
1.47570

[ 外观性状 ]:
无色气体

[ 蒸汽密度 ]:
3.04 (vs air)

[ 折射率 ]:
1.113 (-53ºC)

[ 储存条件 ]:
库房通风低温干燥,与易燃物分开存放

[ 稳定性 ]:
Stable. Incompatible with zinc, alkaline earth metals, Group I metals, aluminium and its alloys. Non-flammable.

详细MSDS(安全技术说明书)

[ 符号 ]:

GHS04

[ 信号词 ]:
Warning

[ 危害声明 ]:
H280

[ 警示性声明 ]:
P410 + P403

[ 个人防护装备 ]:
Eyeshields;Gloves;half-mask respirator (US);multi-purpose combination respirator cartridge (US)

[ 危害码 (欧洲) ]:
F

[ 安全声明 (欧洲) ]:
S38

[ 危险品运输编码 ]:
UN 1982 2.2

[ WGK德国 ]:
3

[ RTECS号 ]:
FG4920000

[ 危险类别 ]:
2.2

详细合成路线

四氟化碳上游产品

四氟化碳下游产品

1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。

2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。

3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。

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Appl. Environ. Microbiol. 81(1) , 203-10, (2014)

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公司名：中山市迪欣化工有限公司

区域：中山市三角镇

价格：
￥2800.0/5kg

联系人：陈雪萍

产品详情：四氟化碳

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