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75-73-0

75-73-0结构式
75-73-0结构式
  • 常用中文名:四氟化碳
  • 常用英文名:Carbon tetrafluoride
  • CAS号:75-73-0
  • 分子式:CF4
  • 分子量:88.00430
  • 相关类别: 化学试剂 有机试剂 烷烃
  • 发布时间:2018-08-05 19:02:24
  • 更新时间:2024-01-03 12:01:50
  • 【用途一】
    用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂
    【用途二】
    用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体,或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。

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中文名 四氟甲烷
英文名 tetrafluoromethane
中文别名 四氟化碳
英文别名 Tetrafluor-methan
Tetrafluorkohlenstoff
Methane,tetrafluoro
Tetrafluorocarbon
perfluorocarbon
Freon 14
Refrigerant 14
Perfluoromethane
Carbon fluoride
MFCD00000371
CARBON TETRAFLUORIDE
Fluorocarbon 14
Halon 14
EINECS 200-896-5
密度 3.04 (vs air)
沸点 −130 °C(lit.)
熔点 −184 °C(lit.)
分子式 CF4
分子量 88.00430
精确质量 87.99360
LogP 1.47570
外观性状 无色气体
蒸汽密度 3.04 (vs air)
折射率 1.113 (-53ºC)
储存条件

储存注意事项储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

稳定性

常温常压下稳定,避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体,遇高热后容器内压增大,有开裂、爆炸危险。化学性质稳定,不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。

分子结构

1、摩尔折射率:7.3

2、摩尔体积(cm3/mol):66.8

3、等张比容(90.2K):105.0

4、表面张力(dyne/cm):6.0

5、介电常数:无可用

6、偶极距(10-24cm3):无可用

7、极化率:2.89

计算化学

1.疏水参数计算参考值(XlogP):1.8

2.氢键供体数量:0

3.氢键受体数量:4

4.可旋转化学键数量:0

5.互变异构体数量:无

6.拓扑分子极性表面积0

7.重原子数量:5

8.表面电荷:0

9.复杂度:19.1

10.同位素原子数量:0

11.确定原子立构中心数量:0

12.不确定原子立构中心数量:0

13.确定化学键立构中心数量:0

14.不确定化学键立构中心数量:0

15.共价键单元数量:1

更多

1.性状:无色无味气体

2.熔点(℃):-183.6

3.沸点(℃):-127.8

4.相对密度(水=1):1.96(-184℃)

5.相对蒸气密度(空气=1):3.04

6.饱和蒸气压(kPa):13.33(-150.7℃)

7.临界温度(℃):-45.5

8.临界压力(MPa):3.74

9.辛醇/水分配系数:1.18

10.溶解性:不溶于水,溶于苯和氯仿。

11.临界密度(g·cm-3):0.626

12.临界体积(cm3·mol-1):141

13.临界压缩因子:0.279

14.van der Waals面积(cm2·mol-1):4.600×109

15.van der Waals体积(cm3·mol-1):27.330

16.Lennard-Jones参数(A):4.5306

17.Lennard-Jones参数(K):158.90

18.气相标准声称热(焓)( kJ·mol-1) :-933.5

19.气相标准熵(J·mol-1·K-1) :261.40

20.气相标准生成自由能( kJ·mol-1):-888.8

21.气相标准热熔(J·mol-1·K-1):61.05

第一部分:化学品名称
化学品中文名称:
四氟甲烷
化学品英文名称:
tetrafluoromethane
中文名称 2
四氟化碳
英文名称 2
carbon tetrafluoride
技术说明书编码:
76
CAS No.
75-73-0
分子式:
CF4
分子量:
88.01
第二部分:成分 / 组成信息
有害物成分
含量
CAS No.
四氟甲烷
75-73-0
第三部分:危险性概述
危险性类别:
侵入途径:
健康危害:
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害:
燃爆危险:
本品不燃,具窒息性。
第四部分:急救措施
皮肤接触:
眼睛接触:
吸入:
迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。
食入:
第五部分:消防措施
危险特性:
不燃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物:
氟化氢。
灭火方法:
本品不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。
第六部分:泄漏应急处理
应急处理:
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
第七部分:操作处置与储存
操作注意事项:
密闭操作,全面通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项:
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分:接触控制 / 个体防护
职业接触限值
中国 MAC(mg/m3)
未制定标准
前苏联 MAC(mg/m3)
未制定标准
TLVTN
未制定标准
TLVWN
未制定标准
监测方法:
工程控制:
生产过程密闭,全面通风。
呼吸系统防护:
一般不需要特殊防护,高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护:
一般不需特殊防护。
身体防护:
穿一般作业工作服。
手防护:
戴一般作业防护手套。
其他防护:
避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。
第九部分:理化特性
主要成分:
纯品
外观与性状:
无色无臭气体。
pH
熔点 ( )
-183.6
沸点 ( )
-128.0
相对密度 ( =1)
1.61(-130)
相对蒸气密度 ( 空气 =1)
无资料
饱和蒸气压 (kPa)
13.33(-150.7)
燃烧热 (kJ/mol)
无意义
临界温度 ( )
-45.5
临界压力 (MPa)
3.74
辛醇 / 水分配系数的对数值:
无资料
闪点 ( )
无意义
引燃温度 ( )
无意义
爆炸上限 %(V/V)
无意义
爆炸下限 %(V/V)
无意义
溶解性:
不溶于水。
主要用途:
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
其它理化性质:
第十部分:稳定性和反应活性
稳定性:
禁配物:
强氧化剂、易燃或可燃物。
避免接触的条件:
聚合危害:
分解产物:
第十一部分:毒理学资料
急性毒性:
LD50 :无资料

LC50
:无资料
亚急性和慢性毒性:
刺激性:
致敏性:
致突变性:
致畸性:
致癌性:
第十二部分:生态学资料
生态毒理毒性:
生物降解性:
非生物降解性:
生物富集或生物积累性:
其它有害作用:
该物质对环境可能有危害,应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定,而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。
第十三部分:废弃处置
废弃物性质:
废弃处置方法:
根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。
废弃注意事项:
第十四部分:运输信息
危险货物编号:
22033
UN 编号:
1982
包装标志:
包装类别:
O53
包装方法:
钢质气瓶。
运输注意事项:
采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
第十五部分:法规信息
法规信息
化学危险物品安全管理条例 (1987 2 17 日国务院发布 ) ,化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 ) ,工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 ) 等法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。
第十六部分:其他信息
<, TR>
参考文献:
填表时间:
填表部门:
数据审核单位:
修改说明:
其他信息:
MSDS 修改日期:

毒理学数据:

1.急性毒性 暂无资料

2.刺激性 暂无资料

3.其他 LCLo:895000ppm(大鼠吸入,15min)

生态学数据:

1.生态毒性 暂无资料

2.生物降解性 暂无资料

3.非生物降解性 暂无资料

4.其他有害作用 温室气体,其造成温室效应的作用是二氧化碳的数千倍。氟代烃的低层大气中比较稳定,而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。

符号 GHS04
GHS04
信号词 Warning
危害声明 H280
警示性声明 P410 + P403
个人防护装备 Eyeshields;Gloves;half-mask respirator (US);multi-purpose combination respirator cartridge (US)
危害码 (欧洲) F
安全声明 (欧洲) S38
危险品运输编码 UN 1982 2.2
WGK德国 3
RTECS号 FG4920000
危险类别 2.2

1.由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,最后经精馏而得成品。

2.预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应,反应放热后,氟开始和碳化硅进行反应,通入等体积的干燥氮气以稀释氟气,使反应继续进行,生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅,随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。

3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O2、N2、H2,得到高纯CF4。