7637-07-2

• 常用中文名：三氟化硼
• 常用英文名：bf3
• CAS号：7637-07-2
• 分子式：BF₃
• 分子量：67.80620
• 相关类别： 无机化工 无机盐 金属卤化物及卤酸盐 金属氟化物及盐
• 发布时间：2018-02-06 08:00:00
• 更新时间：2024-01-02 13:27:22
• 【用途一】
  常用作缩合、离子聚合、异构化等反应的催化剂，还是制备四氟硼酸盐的原料
  【用途二】
  主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
  【用途三】
  主要用作有机反应催化剂，如酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、硝化等。铸镁及合金时的防氧化剂。是制备卤化硼、元素硼、硼烷、硼氢化钠等的主要原料。还用于电子工业等。

名称

• 中文名: 三氟化硼
• 英文名: boron trifluoride
• 英文别名: fluoruredebore; Boron trifluoride; trifluoro-boran; BORON FLUORIDE; bromine trifluoride; Bortrifluorid; BF3; MFCD00011316; BoronTrifuoride; Trifluoroboron; boron trilfuoride; anca1040; EINECS 206-766-4

物化性质

• 密度: 0.90 g/mL at 20 °C
• 沸点: −100 °C(lit.)
• 熔点: −127 °C(lit.)
• 分子式: BF₃
• 分子量: 67.80620
• 闪点: 4°C
• 精确质量: 68.00450
• LogP: 0.87980
• 外观性状: 透明至淡黄色液体
• 蒸汽密度: 2.38 (21 °C, vs air)
• 折射率: n20/D 1.38
• 储存条件:

  储存注意事项 储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。实行“双人收发，双人保管”制度。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。保持容器密封。应与醇类、碱类、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

• 稳定性:

  1.在-100℃时为无色液体。在-160℃时为白色固体。易溶于浓硫酸、浓硝酸、煤油、苯、三氧甲烷、四氯化碳、二硫化碳和硝基苯等有机溶剂，溶于水且分解成硼酸和氟硼酸，并放出热量。 不能燃烧，也不助燃。常温时三氟化硼可腐蚀玻璃，干燥三氟化硼对一般金属无腐蚀性，而潮湿的三氟化硼有很强的腐蚀性。

  2.不可燃气体，在湿空气中生成浓密的白烟。反应性极强，与金属、有机物等发生激烈反应。在－100℃时为无色液体，在－160℃时为白色固体。易溶于浓硫酸、浓硝酸、煤油、苯、三氯甲烷、四氯化碳、二硫化碳和硝基苯等有机溶剂，溶于水而且分解成硼酸和氟硼酸，并放出热量。 冷的三氟化硼可腐蚀玻璃，潮湿的三氟化硼具有强腐蚀性，可腐蚀多种金属。有毒害。

  3.稳定性 稳定

  4.禁配物 水、胺类、醇类、碱类

  5.避免接触的条件 潮湿空气

  6.聚合危害 不聚合

• 水溶解性: MAY DECOMPOSE
• 分子结构:

  1、摩尔折射率：5.96

  2、摩尔体积（cm³/mol）：66.8

  3、等张比容（90.2K）：97.6

  4、表面张力（dyne/cm）：4.5

  5、极化率（10^-24cm³）：2.36

• 计算化学:

  1、疏水参数计算参考值（XlogP）：无

  2、氢键供体数量：0

  3、氢键受体数量：3

  4、可旋转化学键数量：0

  5、互变异构体数量：无

  6、拓扑分子极性表面积（TPSA）：0

  7、重原子数量：4

  8、表面电荷：0

  9、复杂度：8

  10、同位素原子数量：0

  11、确定原子立构中心数量：0

  12、不确定原子立构中心数量：0

  13、确定化学键立构中心数量：0

  14、不确定化学键立构中心数量：0

  15、共价键单元数量：1

• 更多:

  1.性状：无色气体，有窒息性，在潮湿空气中可产生浓密白烟。

  2.熔点（℃）：-126.8

  3.沸点（℃）：-100

  4.相对密度（水=1）：1.6（液体）

  5.相对蒸气密度（空气=1）：2.38

  6.饱和蒸气压（kPa）：1013.25（-58℃）

  7.临界温度（℃）：-12.26

  8.临界压力（MPa）：4.98

  9.辛醇/水分配系数：0.22

  10.溶解性：溶于冷水、浓硫酸和多数有机溶剂。

MSDS

第一部分：化学品名称 化学品中文名称: 三氟化硼 化学品英文名称: boron trifluoride 中文名称 2: 氟化硼 英文名称 2: boron fluoride 技术说明书编码: 68 CAS No.: 7637-07-2 分子式: BF3 分子量: 67.82 第二部分：成分 / 组成信息 有害物成分: 三氟化硼 CAS No.: 7637-07-2 第三部分：危险性概述 健康危害: 急性中毒：主要症状有干咳、气急、胸闷、胸部紧迫感；部分患者出现恶心、食欲减退、流涎；吸入量多时，有震颤及抽搐，亦可引起肺炎。皮肤接触可致灼伤。 燃爆危险: 本品不燃，有毒。 第四部分：急救措施 皮肤接触: 立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗。就医。 眼睛接触: 立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分钟。就医。 吸入: 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 第五部分：消防措施 危险特性: 化学反应活性很高，遇水发生爆炸性分解。与铜及其合金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔。暴露在空气中遇潮气时迅速水解成氟硼酸与硼酸，产生白色烟雾。腐蚀性很强，冷时也能腐蚀玻璃。 有害燃烧产物: 氟化氢、氧化硼。 灭火方法: 本品不燃。消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：泡沫、二氧化碳。 第六部分：泄漏应急处理 应急处理: 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离 150m ，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 第七部分：操作处置与储存 操作注意事项: 严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴导管式防毒面具，穿带面罩式胶布防毒衣，戴橡胶手套。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与醇类、碱类接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。 储存注意事项: 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。保持容器密封。应与醇类、碱类、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 第八部分：接触控制 / 个体防护 中国 MAC(mg/m3): 未制定标准 前苏联 MAC(mg/m3): 1 TLVTN: OSHA 1ppm,2.8mg/m3[ 上限值 ] TLVWN: ACGIH 1ppm,2.8mg/m3 监测方法: 苯羟乙酸分光光度法 工程控制: 严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。提供安全淋浴和洗眼设备。 呼吸系统防护: 正常工作情况下，佩带过滤式防毒面具（全面罩）。高浓度环境中，必须佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。 眼睛防护: 呼吸系统防护中已作防护。 身体防护: 穿带面罩式胶布防毒衣。 手防护: 戴橡胶手套。 其他防护: 工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 第九部分：理化特性 主要成分: 纯品 外观与性状: 无色气体，有窒息性，在潮湿空气中可产生浓密白烟。 熔点 ( ℃ ): -126.8 沸点 ( ℃ ): -100 相对密度 ( 水 =1): 无资料 相对蒸气密度 ( 空气 =1): 2.35 饱和蒸气压 (kPa): 1013.25(-58℃) 燃烧热 (kJ/mol): 无意义 临界温度 ( ℃ ): -12.26 临界压力 (MPa): 4.98 辛醇 / 水分配系数的对数值: 无资料 闪点 ( ℃ ): 无意义 引燃温度 ( ℃ ): 无意义 爆炸上限 %(V/V): 无意义 爆炸下限 %(V/V): 无意义 溶解性: 溶于冷水。 主要用途: 用作有机合成中的催化剂，也用于制造火箭的高能燃料。 第十部分：稳定性和反应活性 禁配物: 水、胺类、醇类、碱类。 第十一部分：毒理学资料 急性毒性: LD50 ：无资料; LC50 ： 1180mg/m3 ， 4 小时 ( 大鼠吸入 ) 第十二部分：生态学资料 其它有害作用: 无资料。 第十三部分：废弃处置 废弃处置方法: 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 第十四部分：运输信息 危险货物编号: 23018 UN 编号: 1008 包装类别: O52 包装方法: 钢质气瓶。 运输注意事项: 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与醇类、碱类、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。 第十五部分：法规信息 法规信息: 化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.3 类有毒气体；剧毒物品分级、分类与品名编号 (GA 57-93) 中，该物质的液化或压缩品被划为第三类 B 级无机剧毒品。

毒性和生态

毒理学数据: 1.急性毒性 LC50：1180mg/m^3（大鼠吸入，4h） 2.刺激性 暂无资料 3.亚急性与慢性毒性 动物亚急性和慢性毒性试验，主要引起呼吸道刺激、肺炎及肾小管变性；尿氟含量增加；可发生氟斑牙。 4.其他 LCLo：750ppm（大鼠吸入，5.5h） 生态学数据: 该物质对环境可能有危害，对水体应给予特别注意。 CHEMICAL IDENTIFICATION RTECS NUMBER : ED2275000 CHEMICAL NAME : Borane, trifluoro- CAS REGISTRY NUMBER : 7637-07-2 LAST UPDATED : 199712 DATA ITEMS CITED : 38 MOLECULAR FORMULA : B-F3 MOLECULAR WEIGHT : 67.81 WISWESSER LINE NOTATION : FBFF HEALTH HAZARD DATA ACUTE TOXICITY DATA TYPE OF TEST : LC50 - Lethal concentration, 50 percent kill ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - rat DOSE/DURATION : 1180 mg/m3/4H TOXIC EFFECTS : Details of toxic effects not reported other than lethal dose value REFERENCE : 85GMAT "Toxicometric Parameters of Industrial Toxic Chemicals Under Single Exposure," Izmerov, N.F., et al., Moscow, Centre of International Projects, GKNT, 1982 Volume(issue)/page/year: -,27,1982 TYPE OF TEST : LC50 - Lethal concentration, 50 percent kill ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - mouse DOSE/DURATION : 3460 mg/m3/2H TOXIC EFFECTS : Behavioral - somnolence (general depressed activity) Lungs, Thorax, or Respiration - cyanosis Blood - hemorrhage REFERENCE : FATOAO Farmakologiya i Toksikologiya (Moscow). For English translation, see PHTXA6 and RPTOAN. (V/O Mezhdunarodnaya Kniga, 113095 Moscow, USSR) V.2- 1939- Volume(issue)/page/year: 35,369,1972 TYPE OF TEST : LC50 - Lethal concentration, 50 percent kill ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - guinea pig DOSE/DURATION : 109 mg/m3/4H TOXIC EFFECTS : Behavioral - somnolence (general depressed activity) Lungs, Thorax, or Respiration - cyanosis Blood - hemorrhage REFERENCE : FATOAO Farmakologiya i Toksikologiya (Moscow). For English translation, see PHTXA6 and RPTOAN. (V/O Mezhdunarodnaya Kniga, 113095 Moscow, USSR) V.2- 1939- Volume(issue)/page/year: 35,369,1972 ** OTHER MULTIPLE DOSE TOXICITY DATA ** TYPE OF TEST : TCLo - Lowest published toxic concentration ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - rat DOSE/DURATION : 12800 ppb/7H/65D-I TOXIC EFFECTS : Lungs, Thorax, or Respiration - fibrosis, focal (pneumoconiosis) Related to Chronic Data - death REFERENCE : AIHAAP American Industrial Hygiene Association Journal. (AIHA, 475 Wolf Ledges Pkwy., Akron, OH 44311) V.19- 1958- Volume(issue)/page/year: 22,263,1961 TYPE OF TEST : TCLo - Lowest published toxic concentration ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - rat DOSE/DURATION : 10 mg/m3/4H/17W-I TOXIC EFFECTS : Sense Organs and Special Senses (Olfaction) - effect, not otherwise specified Lungs, Thorax, or Respiration - structural or functional change in trachea or bronchi Blood - changes in leukocyte (WBC) count REFERENCE : FATOAO Farmakologiya i Toksikologiya (Moscow). For English translation, see PHTXA6 and RPTOAN. (V/O Mezhdunarodnaya Kniga, 113095 Moscow, USSR) V.2- 1939- Volume(issue)/page/year: 35(3),369,1972 TYPE OF TEST : TCLo - Lowest published toxic concentration ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - guinea pig DOSE/DURATION : 12800 ppb/7H/65D-I TOXIC EFFECTS : Lungs, Thorax, or Respiration - bronchiolar constriction Nutritional and Gross Metabolic - changes in metals, not otherwise specified Related to Chronic Data - death REFERENCE : AIHAAP American Industrial Hygiene Association Journal. (AIHA, 475 Wolf Ledges Pkwy., Akron, OH 44311) V.19- 1958- Volume(issue)/page/year: 22,263,1961 TYPE OF TEST : TCLo - Lowest published toxic concentration ROUTE OF EXPOSURE : Inhalation SPECIES OBSERVED : Rodent - guinea pig DOSE/DURATION : 3 mg/m3/4H/17W-I REFERENCE : FATOAO Farmakologiya i Toksikologiya (Moscow). For English translation, see PHTXA6 and RPTOAN. (V/O Mezhdunarodnaya Kniga, 113095 Moscow, USSR) V.2- 1939- Volume(issue)/page/year: 35(3),369,1972 *** REVIEWS *** ACGIH TLV-CL 2.8 mg/m3 (1 ppm) DTLVS* The Threshold Limit Values (TLVs) and Biological Exposure Indices (BEIs) booklet issues by American Conference of Governmental Industrial Hygienists (ACGIH), Cincinnati, OH, 1996 Volume(issue)/page/year: TLV/BEI,1997 *** U.S. STANDARDS AND REGULATIONS *** MSHA STANDARD:air-CL 1 ppm (3 mg/m3) DTLVS* The Threshold Limit Values (TLVs) and Biological Exposure Indices (BEIs) booklet issues by American Conference of Governmental Industrial Hygienists (ACGIH), Cincinnati, OH, 1996 Volume(issue)/page/year: 3,26,1971 OSHA PEL (Gen Indu):CL 1 ppm (3 mg/m3) CFRGBR Code of Federal Regulations. (U.S. Government Printing Office, Supt. of Documents, Washington, DC 20402) Volume(issue)/page/year: 29,1910.1000,1994 OSHA PEL (Construc):CL 1 ppm (3 mg/m3) CFRGBR Code of Federal Regulations. (U.S. Government Printing Office, Supt. of Documents, Washington, DC 20402) Volume(issue)/page/year: 29,1926.55,1994 OSHA PEL (Shipyard):CL 1 ppm (3 mg/m3) CFRGBR Code of Federal Regulations. (U.S. Government Printing Office, Supt. of Documents, Washington, DC 20402) Volume(issue)/page/year: 29,1915.1000,1993 OSHA PEL (Fed Cont):CL 1 ppm (3 mg/m3) CFRGBR Code of Federal Regulations. (U.S. Government Printing Office, Supt. of Documents, Washington, DC 20402) Volume(issue)/page/year: 41,50-204.50,1994 *** OCCUPATIONAL EXPOSURE LIMITS *** OEL-ARAB Republic of Egypt:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-AUSTRALIA:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-AUSTRIA:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-BELGIUM:STEL 1 ppm (2.8 mg/m3) JAN 1993 OEL-DENMARK:STEL 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-FINLAND:TWA 1 ppm (3 mg/m3);STEL 3 ppm (8.3 mg/m3) JAN 1993 OEL-FRANCE:STEL 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-GERMANY:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-INDIA:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-JAPAN:TWA 0.3 ppm (0.83 mg/m3) JAN 1993 OEL-THE NETHERLANDS:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-THE PHILIPPINES:STEL 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-RUSSIA:TWA 0.3 ppm;STEL 1 mg/m3 JAN 1993 OEL-SWITZERLAND:TWA 1 ppm (3 mg/m3);STEL 2 ppm (6 mg/m3) JAN 1993 OEL-THAILAND:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-TURKEY:TWA 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL-UNITED KINGDOM:TWA 1 ppm (3 mg/m3);STEL 1 ppm (3 mg/m3) JAN 1993 OEL IN BULGARIA, COLOMBIA, JORDAN, KOREA check ACGIH TLV OEL IN NEW ZEALAND, SINGAPORE, VIETNAM check ACGIH TLV *** NIOSH STANDARDS DEVELOPMENT AND SURVEILLANCE DATA *** NIOSH RECOMMENDED EXPOSURE LEVEL (REL) : NIOSH REL TO BORON TRIFLUORIDE-air:CL 1 ppm REFERENCE : NIOSH* National Institute for Occupational Safety and Health, U.S. Dept. of Health, Education, and Welfare, Reports and Memoranda. Volume(issue)/page/year: DHHS #92-100,1992 NIOSH OCCUPATIONAL EXPOSURE SURVEY DATA : NOHS - National Occupational Hazard Survey (1974) NOHS Hazard Code - 12980 No. of Facilities: 271 (estimated) No. of Industries: 10 No. of Occupations: 13 No. of Employees: 4021 (estimated) NOES - National Occupational Exposure Survey (1983) NOES Hazard Code - 12980 No. of Facilities: 79 (estimated) No. of Industries: 6 No. of Occupations: 10 No. of Employees: 3819 (estimated) No. of Female Employees: 524 (estimated)

安全

• 符号: GHS02, GHS05, GHS07
• 信号词: Danger
• 危害声明: H226-H302-H314-H332-H335-H336
• 补充危害声明: Reacts violently with water.
• 警示性声明: P261-P280-P305 + P351 + P338-P310
• 靶器官: Kidney
• 个人防护装备: Faceshields;full-face respirator (US);Gloves;Goggles;multi-purpose combination respirator cartridge (US);type ABEK (EN14387) respirator filter
• 危害码 (欧洲): F: Flammable;T+: Very toxic;
• 风险声明 (欧洲): R11;R14;R24/25;R26;R35;R39/23/24/25
• 安全声明 (欧洲): S9-S26-S28-S36/37/39-S45-S28A-S16
• 危险品运输编码: UN 3286 3/PG 2
• WGK德国: 3
• RTECS号: ED2275000
• 危险类别: 2.3

合成路线

上下游产品

上游产品  10
91543-32-7 368-40-1 368-39-8 82113-65-3
623575-99-5 16872-09-6 13400-13-0 7783-56-4
10294-34-5 75-69-4
下游产品  10
105396-09-6 10547-56-5 17085-91-5 10565-10-3
2876-35-9 306-83-2 354-55-2 354-81-4
341-02-6 560-21-4

制备

1.氟硼酸钾、硼酐、硫酸法将氟硼酸钾和硼酐一起研磨均匀，按一定的配料比加入反应器中，再加入浓硫酸，不断搅拌，使固体和液体混合均匀，逐渐加热，到一定程度便有氟化硼产生。在温度达到40℃左右时，反应物开始沸腾，当温度达到93～130℃时，产生的气体最多。生成的氟化硼气体净化后进人收集器中。其反应方程式如下：

采用热分解法。以化学纯氟硼酸钠(含NaBF4 99%)为原料，加热到一定温度使氟硼酸钠分解，释放出三氟化硼气体，经净化后进入收集器中，制得高纯度三氟化硼。

2.第一部分：制备高纯度的三氟化硼

如图所示，将300g氟硼化钠(或287g氟硼化铵)和50g无水三氧化二硼放在一起研磨，然后将该混合物图制备高纯度三氟化硼的装置

A—烧瓶；B—标准锥形接口；C—水冷夹套；D—活塞；E—洗瓶；F—安瓿放在1L烧瓶中。加入约300mL浓硫酸，摇动烧瓶使固体和液体充分地混匀，在标准锥形接口B上使用一种润滑脂(用三氟化硼饱和1∶4石蜡与凡士林混合物，并在130℃下减压抽去过量的三氟化硼而制成)将烧瓶A连接到装置中，打开活塞D，将系统抽至真空；然后将D关闭，使产生的三氟化硼通过洗瓶E，E中装着饱和有三氧化二硼的浓硫酸，以洗除氢氟酸和水汽。将烧瓶微微加热。会产生泡沫，当泡沫停止发生时，给反应混合物强烈地加热。三氟化硼凝聚在若干安瓿F中，在一个安瓿的外部包浸以液态空气即能将三氟化硼气抽入这个安瓿中，同时使其他的安瓿温热起来使三氟化硼熔化而流至安瓿底部。将三氟化硼从一个安瓿蒸馏到另一个安瓿里去，弃去前段馏份和后段馏份，可以部分地把三氟化硼提纯。如果需用很纯的产品，可以用Booth与Bozarth(Booth and Bozarth:IndEngChem,29,470，1937)所提出的蒸馏柱来精馏三氟化硼。一次这样的蒸馏即可得到光谱纯的三氟化硼。

在实验过程中必须用全玻璃仪器和不含橡胶的活塞润滑脂，因为三氟化硼很容易侵蚀橡皮。在锥形接口的外面有循环水封来防止润滑脂的熔化是很重要的，因为它熔化后会造成漏气和会将磨砂表面黏结起来。在第一次产生三氟化硼时，有些三氟化硼会被用于使硫酸饱和，因为1体积硫酸能吸收约50体积的三氟化硼气。保留起这一部分三氟化硼，其产率几乎是定量的。

3.第二部分：制备作为催化剂的三氟化硼

图制备作为催化剂用的三氟化硼的装置

A—烧瓶；B—标准锥形接口；C—水夹套冷却器；E—安德烈螺旋式洗瓶；T—捕集瓶；R—接受瓶；V—氯化钙瓶；S，S′—活塞当三氟化硼是为了用作有机反应的催化剂，而在此反应中杂质如SiF4不产生干扰时，可以用图9所示的装置。三氟化硼气仍照前法来发生。使它通过安德烈螺旋式洗瓶E，其中同样装有硫酸和三氧化二硼。然后通过空的捕集瓶T而通入到装有进行反应的有机化合物的接受瓶R中。过剩的三氟化硼则通过氯化钙管V而导入通风橱中。进行反应的有机化合物所吸收的三氟化硼的量可以随时加以测定，旋动三通活塞S使三氟化硼直接导至通风橱中，关上两只活塞S′使烧瓶R中的反应物和大气隔绝。在仪器中从G到G′的部分可以拆下并称重。

4.采用热分解法。以精制氟硼酸钠为原料，加入到热分解器中，加热到384℃时氟硼酸钠开始分解，释放出三氟化硼气体，经过净化后进入收集器中，制得高纯度三氟化硼。