四甲基氢氧化铵

• 常用名: 四甲基氢氧化铵
• 英文名: Tetramethylammonium hydroxide
• CAS号: 75-59-2
• 分子量: 91.152
• 密度: 0.866 g/mL at 25 °C
• 沸点: 110 °C
• 分子式: C₄H₁₃NO
• 熔点: °C
• 闪点: 80 °F
• 符号: GHS02, GHS05, GHS06, GHS08, GHS09
• 信号词: Danger

四甲基氢氧化铵用途

【用途一】
用作极谱分析试剂

【用途二】
用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等
【用途三】
在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等

四甲基氢氧化铵名称

• 中文名: 四甲基氢氧化铵
• 英文名: Tetramethylammonium hydroxide
• 中文别名: 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH | 四甲

四甲基氢氧化铵物理化学性质

• 密度: 0.866 g/mL at 25 °C
• 沸点: 110 °C
• 熔点: °C
• 分子式: C₄H₁₃NO
• 分子量: 91.152
• 闪点: 80 °F
• 精确质量: 91.099716
• PSA: 23.06000
• LogP: 0.14560
• 外观性状: 无色结晶（常含三、五等结晶水），熔点68-71℃，极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲醇和三甲胺，通常使用有10％；25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。
• 蒸汽压: 17.5 mm Hg ( 20 °C)
• 折射率: n20/D 1.384
• 储存条件:

  本品应密封于阴凉干燥处避光保存。

• 稳定性: Stable. Flammable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.
• 计算化学:

  1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无

  2.氢键供体数量:1

  3.氢键受体数量:1

  4.可旋转化学键数量:0

  5.互变异构体数量:无

  6.拓扑分子极性表面积1

  7.重原子数量:6

  8.表面电荷:0

  9.复杂度:19.1

  10.同位素原子数量:0

  11.确定原子立构中心数量:0

  12.不确定原子立构中心数量:0

  13.确定化学键立构中心数量:0

  14.不确定化学键立构中心数量:0

  15.共价键单元数量:2

• 更多:

  1. 性状：有一定的氨气味，具有强碱性，易吸收空气中的CO2，通常制10%、25%的水溶液，含5分子结晶水的四甲基氢氧化铵为无色潮解性针状结晶。加热到沸点时易分解成三甲胺和甲醇，比重1.00(25/4℃)。

  2. 密度（g/mL,25/4℃）：1.016

  3. 相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：不确定

  4. 熔点（ºC）：62-71°C。

  5. 沸点（ºC,常压）：120℃

  6. 沸点（ºC,5.2kPa）：不确定

  7. 折射率：1.3806

  8. 闪点（ºC）：不确定

  9. 比旋光度（º）：不确定

  10. 自燃点或引燃温度（ºC）：不确定

  11. 蒸气压（kPa,25ºC）：不确定

  12. 饱和蒸气压（kPa,60ºC）：不确定

  13. 燃烧热（KJ/mol）：不确定

  14. 临界温度（ºC）：不确定

  15. 临界压力（KPa）：不确定

  16. 油水（辛醇/水）分配系数的对数值：不确定

  17. 爆炸上限（%,V/V）：不确定

  18. 爆炸下限（%,V/V）：不确定

  19. 溶解性：溶于水和乙醇等。

四甲基氢氧化铵MSDS

---

模块1. 化学品
1.1 产品标识符
: 四甲基氢氧化铵 溶液
产品名称
1.2 鉴别的其他方法
无数据资料

1.3 有关的确定了的物质或混合物的用途和建议不适合的用途
仅用于研发。不作为药品、家庭或其它用途。

---

模块2. 危险性概述
2.1 GHS-分类
急性毒性, 经口 (类别 2)
进一步信息
版权所有：2013 Co. LLC. 公司。许可无限制纸张拷贝，仅限于内部使用。
上述信息视为正确，但不包含所有的信息，仅作为指引使用。本文件中的信息是基于我们目前所知，就正
确的安全提示来说适用于本品。该信息不代表对此产品性质的保证。
参见发票或包装条的反面。
急性毒性, 经皮 (类别 2)
皮肤腐蚀 (类别 1B)
严重眼睛损伤 (类别 1)
急性水生毒性 (类别 2)
2.2 GHS 标记要素，包括预防性的陈述
象形图
警示词危险
危险申明
H300吞咽致命。
H310皮肤接触致命。
H314造成严重皮肤灼伤和眼损伤。
H401对水生生物有毒。
警告申明
预防措施
P262防止溅入眼睛、接触皮肤或衣服。
P264操作后彻底清洁皮肤。
P270使用本产品时不要进食、饮水或吸烟。
P273避免释放到环境中。
P280戴防护手套/穿防护服/戴护目镜/戴面罩.
事故响应
P301 + P310如果吞下去了: 立即呼救解毒中心或医生。
P301 + P330 + P331如果吞咽：漱口，不要催吐。
P303 + P361 + P353如果皮肤(或头发)接触：立即除去/脱掉所有沾污的衣物，用水清洗皮肤/淋
浴。
P304 + P340如吸入: 将患者移到新鲜空气处休息，并保持呼吸舒畅的姿势。
P305 + P351 + P338如与眼睛接触，用水缓慢温和地冲洗几分钟。如戴隐形眼镜并可方便地取
出，取出隐形眼镜，然后继续冲洗.
P310立即呼叫中毒控制中心或医生.
P322具体处置（见本标签上提供的急救指导）。
P361立即除去/脱掉所有沾污的衣物。
P363沾污的衣服清洗后方可再用。
安全储存
P405存放处须加锁。
废弃处置
P501将内容物/ 容器处理到得到批准的废物处理厂。
2.3 其它危害物
通过皮肤迅速吸收。

---

模块3. 成分/组成信息
3.2 混合物
: 91.15 g/mol
分子量
组分分类浓度或浓度范围
Tetramethylammonium hydroxide
化学文摘登记号(CA 75-59-2Acute Tox. 2; Acute Tox. 3;30 - 50 %
S No.)200-882-9Skin Corr. 1B; Eye Dam. 1;
EC-编号Aquatic Acute 2; H300, H311,
H314, H401
如需在本章节中提及的H类告知和R类描述的全部文字说明,请见第16章节.

---

模块4. 急救措施
4.1 必要的急救措施描述
一般的建议
请教医生。 向到现场的医生出示此安全技术说明书。
吸入
如果吸入,请将患者移到新鲜空气处。 如呼吸停止,进行人工呼吸。 请教医生。
皮肤接触
立即脱掉被污染的衣服和鞋。 用肥皂和大量的水冲洗。 立即将患者送往医院。 请教医生。
眼睛接触
用大量水彻底冲洗至少15分钟并请教医生。
食入
禁止催吐。 切勿给失去知觉者通过口喂任何东西。 用水漱口。 请教医生。
4.2 主要症状和影响，急性和迟发效应
该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。,
接触的症状可能有烧伤感觉,连续咳嗽,气喘,咽喉痛,呼吸急促,头痛,恶心,呕吐等, 吸入蒸汽可引起：, 肺水肿,
痉挛，发炎，支气管炎, 痉挛，发炎，咽喉肿痛, 据我们所知，此化学，物理和毒性性质尚未经完整的研究。
4.3 及时的医疗处理和所需的特殊处理的说明和指示
无数据资料

---

模块5. 消防措施
5.1 灭火介质
灭火方法及灭火剂
用水雾,抗乙醇泡沫,干粉或二氧化碳灭火。
5.2 源于此物质或混合物的特别的危害
碳氧化物, 氮氧化物, 氯化氢气体
5.3 给消防员的建议
如必要的话,戴自给式呼吸器去救火。
5.4 进一步信息
无数据资料

---

模块6. 泄露应急处理
6.1 作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序
戴呼吸罩。 避免吸入蒸气、烟雾或气体。 保证充分的通风。 人员疏散到安全区域。
6.2 环境保护措施
如能确保安全，可采取措施防止进一步的泄漏或溢出。 不要让产品进入下水道。
一定要避免排放到周围环境中。
6.3 泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料
用惰性吸附材料吸收并当作危险废物处理。 放入合适的封闭的容器中待处理。
6.4 参考其他部分
丢弃处理请参阅第13节。

---

模块7. 操作处置与储存
7.1 安全操作的注意事项
避免接触皮肤和眼睛。 避免吸入蒸气和烟雾。
一般性的防火保护措施。
7.2 安全储存的条件,包括任何不兼容性
贮存在阴凉处。 使容器保持密闭，储存在干燥通风处。
打开了的容器必须仔细重新封口并保持竖放位置以防止泄漏。
7.3 特定用途
无数据资料

---

模块8. 接触控制和个体防护
8.1 容许浓度
最高容许浓度
没有已知的国家规定的暴露极限。
8.2 暴露控制
适当的技术控制
避免与皮肤、眼睛和衣服接触。 休息前和操作本品后立即洗手。
个体防护设备
眼/面保护
紧密装配的防护眼镜请使用经官方标准如NIOSH (美国) 或 EN 166(欧盟)
检测与批准的设备防护眼部。
皮肤保护
戴手套取 手套在使用前必须受检查。
请使用合适的方法脱除手套(不要接触手套外部表面),避免任何皮肤部位接触此产品.
使用后请将被污染过的手套根据相关法律法规和有效的实验室规章程序谨慎处理. 请清洗并吹干双手
所选择的保护手套必须符合EU的89/686/EEC规定和从它衍生出来的EN 376标准。
完全接触
物料: 丁腈橡胶
最小的层厚度 0.11 mm
溶剂渗透时间: 480 min
测试过的物质Dermatril® (KCL 740 / Z677272, 规格 M)
飞溅保护
物料: 丁腈橡胶
最小的层厚度 0.11 mm
溶剂渗透时间: 480 min
测试过的物质Dermatril® (KCL 740 / Z677272, 规格 M)
, 测试方法 EN374
如果以溶剂形式应用或与其它物质混合应用，或在不同于EN
374规定的条件下应用，请与EC批准的手套的供应商联系。
这个推荐只是建议性的,并且务必让熟悉我们客户计划使用的特定情况的工业卫生学专家评估确认才可.
这不应该解释为在提供对任何特定使用情况方法的批准.
身体保护
全套防化学试剂工作服, 防护设备的类型必须根据特定工作场所中的危险物的浓度和数量来选择。
呼吸系统防护
如危险性评测显示需要使用空气净化的防毒面具，请使用全面罩式多功能防毒面具（US）或ABEK型
（EN
14387）防毒面具筒作为工程控制的候补。如果防毒面具是保护的唯一方式，则使用全面罩式送风防
毒面具。 呼吸器使用经过测试并通过政府标准如NIOSH（US）或CEN（EU）的呼吸器和零件。

---

模块9. 理化特性
9.1 基本的理化特性的信息
a) 外观与性状
形状: 液体
b) 气味
无数据资料
c) 气味阈值
无数据资料
d) pH值
> 13 在 20 °C
e) 熔点/凝固点
无数据资料
f) 沸点、初沸点和沸程
无数据资料
g) 闪点
> 100 °C
h) 蒸发速率
无数据资料
i) 易燃性(固体,气体)
无数据资料
j) 高的/低的燃烧性或爆炸性限度 无数据资料
k) 蒸气压
23.33 hPa 在 20 °C
l) 蒸汽密度
无数据资料
m) 密度/相对密度
无数据资料
n) 水溶性
无数据资料
o) n-辛醇/水分配系数
无数据资料
p) 自燃温度
无数据资料
q) 分解温度
无数据资料
r) 粘度
无数据资料

---

模块10. 稳定性和反应活性
10.1 反应性
无数据资料
10.2 稳定性
无数据资料
10.3 危险反应
无数据资料
10.4 应避免的条件
无数据资料
10.5 不相容的物质
铝, 碱金属, 强氧化剂, 酸, 酰基氯, 酸酐, 卤素
10.6 危险的分解产物
其它分解产物 - 无数据资料

---

模块11. 毒理学资料
11.1 毒理学影响的信息
急性毒性
无数据资料
半数致死剂量 (LD50) 经皮 - 大鼠 - 449 mg/kg
半数致死剂量 (LD50) 经皮 - 大鼠 - 112 mg/kg
皮肤刺激或腐蚀
无数据资料
眼睛刺激或腐蚀
无数据资料
呼吸道或皮肤过敏
无数据资料
生殖细胞致突变性
无数据资料
致癌性
IARC:
此产品中没有大于或等于 0。1%含量的组分被 IARC鉴别为可能的或肯定的人类致癌物。
生殖毒性
无数据资料
特异性靶器官系统毒性（一次接触）
无数据资料
特异性靶器官系统毒性（反复接触）
无数据资料
吸入危险
无数据资料
潜在的健康影响
吸入吸入可能有害。 该物质对组织、粘膜和上呼吸道破坏力强
摄入吞咽可能致死。 引致灼伤。
皮肤通过皮肤吸收可能致死。 引起皮肤灼伤。
眼睛引起眼睛灼伤。
接触后的征兆和症状
该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。,
接触的症状可能有烧伤感觉,连续咳嗽,气喘,咽喉痛,呼吸急促,头痛,恶心,呕吐等, 吸入蒸汽可引起：, 肺水肿,
痉挛，发炎，支气管炎, 痉挛，发炎，咽喉肿痛, 据我们所知，此化学，物理和毒性性质尚未经完整的研究。
附加说明
化学物质毒性作用登记: 无数据资料

---

模块12. 生态学资料
12.1 生态毒性
无数据资料
对水蚤和其他水生无脊半数效应浓度（EC50） - 大型蚤 (水蚤) - 3.0 mg/l - 48 h
椎动物的毒性
12.2 持久性和降解性
无数据资料
12.3 潜在的生物累积性
无数据资料
12.4 土壤中的迁移性
无数据资料
12.5 PBT 和 vPvB的结果评价
无数据资料
12.6 其它不良影响
对水生生物有毒。

---

模块13. 废弃处置
13.1 废物处理方法
产品
将剩余的和不可回收的溶液交给有许可证的公司处理。
联系专业的拥有废弃物处理执照的机构来处理此物质。
受污染的容器和包装
按未用产品处置。

---

模块14. 运输信息
14.1 联合国危险货物编号
欧洲陆运危规: 1835国际海运危规: 1835国际空运危规: 1835
14.2 联合国运输名称
欧洲陆运危规: TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE SOLUTION
国际海运危规: TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE SOLUTION
国际空运危规: Tetramethylammonium hydroxide, solution
14.3 运输危险类别
欧洲陆运危规: 8国际海运危规: 8国际空运危规: 8
14.4 包裹组
欧洲陆运危规: II国际海运危规: II国际空运危规: II
14.5 环境危险
欧洲陆运危规: 否国际海运危规国际空运危规: 否
海洋污染物（是/否）: 否
14.6 对使用者的特别提醒
无数据资料

---

模块 15 - 法规信息
N/A

---

模块16 - 其他信息
N/A

四甲基氢氧化铵毒性和生态

四甲基氢氧化铵毒理学数据:

1、急性毒性

小鼠皮下LD50:19mg/kg

兔子静脉LD50:1mg/kg

猪皮肤LD50:25mg/kg

蛙肠胃LDL0:5mg/kg

蛙LDL0:1515 ug/kg

2

主要的刺激性影响：

在皮肤上面：在皮肤和粘膜上造成腐蚀性影响。

在眼睛上面: 强烈的腐蚀性影响

致敏作用：没有已知的敏化影响。

四甲基氢氧化铵生态学数据:

总括注解

水危害级别1（德国规例）（通过名单进行自我评估）该物质对水有稍微危害的。

不要让未稀释或大量的产品接触地下水、水道或污水系统。

若无政府许可，勿将材料排入周围环境。

对水中的有机物有危害

大量向河流和下水道排放，可引起ph值的升高，过高的ph值对水中的有机物有危害

在使用时进行浓度稀释，可大大降低ph值，从而可减少产品排放后产生对水的危害

四甲基氢氧化铵安全信息

• 符号: GHS02, GHS05, GHS06, GHS08, GHS09
• 信号词: Danger
• 危害声明: H226-H300 + H310-H314-H331-H370-H372-H411
• 警示性声明: P260-P264-P273-P280-P301 + P310-P302 + P350
• 靶器官: Liver, thymus gland
• 个人防护装备: Faceshields;full-face respirator (US);Gloves;Goggles;multi-purpose combination respirator cartridge (US);type ABEK (EN14387) respirator filter
• 危害码 (欧洲): T:Toxic; C:Corrosive;
• 风险声明 (欧洲): R20/21/22;R34
• 安全声明 (欧洲): S45-S36/37/39-S26-S16-S36/37
• 危险品运输编码: UN 3286 3/PG 2
• WGK德国: 1
• RTECS号: PA0875000
• 包装等级: II
• 危险类别: 3
• 海关编码: 2923900090

四甲基氢氧化铵制备

四甲基氢氧化铵的制备方法很多，一般采用氧化银法，通过四甲基氯化铵与氧化银反应生成。但该法制备四甲基氢氧化铵的工艺复杂，原料氧化银价格昂贵，而且所得产品含较高的杂质离子，如卤素离子、碱金属离子等，用于有机硅单体催化聚合时，严重影响有机硅产品特性，更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。
国外从七十年代开始采用电解法制备四甲基氢氧化铵的新工艺，并逐步取代氧化银法。用电解法制得的产品质量较好，成本低，不仅能满足有机硅生产的需要，而且进入了电子工业领域。

四甲基氢氧化铵海关

• 海关编码: 2923900090
• 中文概述: 2923900090 其他季铵盐及季铵碱。监管条件:无。增值税率:17.0%。退税率:9.0%。最惠国关税:6.5%。普通关税:30.0%
• 申报要素: 品名, 成分含量, 用途
• Summary: 2923900090 other quaternary ammonium salts and hydroxides。Supervision conditions:None。VAT:17.0%。Tax rebate rate:9.0%。MFN tariff:6.5%。General tariff:30.0%

四甲基氢氧化铵英文别名

• AR-300-49
• tetreamethyl ammonium hydroxide
• nmw-w
• MFCD00008280
• TMAH
• TRITONNE
• Developer
• ocg945
• TMNOH
• AZ-300MIF
• AZ-726
• nmd3
• EINECS 200-882-9