7783-63-3

• 常用中文名：头孢呋辛酸
• 常用英文名：titanium tetrafluoride
• CAS号：7783-63-3
• 分子式：F₄Ti
• 分子量：171.728
• 相关类别： 无机化工 无机盐 金属卤化物及卤酸盐 金属氟化物及盐
• 发布时间：2018-02-25 08:00:00
• 更新时间：2024-01-02 18:54:32
• 【用途一】
  用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。

名称

• 中文名: 四氟化钛
• 英文名: Titanium tetrafluoride
• 中文别名: 头孢呋辛酸; 氟化钛(IV)
• 英文别名: titanium tetrafluoride; EINECS 232-017-6; Titanium(2+) fluoride (1:2); titanium fluoride; MFCD02091753

物化性质

• 密度: 2.798 g/mL at 25 °C(lit.)
• 沸点: 284°C
• 熔点: >400°C
• 分子式: F₄Ti
• 分子量: 171.728
• 精确质量: 171.889511
• LogP: 1.68080
• 外观性状: 白色粉末
• 储存条件:

  干性的保护气体下处置，

  保持贮藏器密封

  放入紧密的贮藏器内，储存在阴凉，干燥的地方

• 稳定性:

  如果遵照规格使用和储存则不会分解

  避免接触酸，水分/潮湿。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100 ℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。加压下的熔点在400℃以上。常压下284℃升华。吸湿性强。可与水反应并发生分解。溶于乙醇。不溶于乙醚。
• 更多:

  1. 性状：四氟化钛为有吸湿性的白色粉末。

  2. 密度（g/mL 25ºC）：2.798

  3. 相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：未确定

  4. 熔点（ºC）：>400

  5. 沸点（ºC，常压）：284

  6. 沸点（ºC,5.2kPa）：未确定

  7. 折射率（n20/D）：未确定

  8. 闪点（ºC，）：未确定

  9. 比旋光度（º）：未确定

  10. 自燃点或引燃温度（ºC）：未确定

  11. 蒸气压（kPa,25ºC）：未确定

  12. 饱和蒸气压（kPa,60ºC）：未确定

  13. 燃烧热（KJ/mol）：未确定

  14. 临界温度（ºC）：未确定

  15. 临界压力（KPa）：未确定

  16. 油水（辛醇/水）分配系数的对数值（25℃）：未确定

  17. 爆炸上限（%,V/V）：未确定

  18. 爆炸下限（%,V/V）：未确定

  19. 溶解性(mg/mL)：易溶于水并分解，不溶于乙醚

MSDS

模块1. 化学品 1.1 产品标识符 : 四氟化钛 产品名称 1.2 鉴别的其他方法 无数据资料 1.3 有关的确定了的物质或混合物的用途和建议不适合的用途 仅用于研发。不作为药品、家庭或其它用途。 模块2. 危险性概述 2.1 GHS危险性类别 急性毒性, 经口 (类别 4) 急性毒性, 吸入 (类别 4) 急性毒性, 经皮 (类别 4) 皮肤腐蚀/刺激 (类别 1B) 严重眼睛损伤/眼睛刺激性 (类别 1) 2.2 GHS 标签要素，包括防范说明 象形图 信号词危险 危险申明 H302 + H312 + H332吞咽、皮肤接触或吸入有害。 H314造成严重皮肤灼伤和眼损伤。 警告申明 预防措施 P260不要吸入粉尘或烟雾。 P264作业后彻底清洗皮肤。 P270使用本产品时不要进食、饮水或吸烟。 P271只能在室外或通风良好之处使用。 P280戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。 事故响应 P301 + P312 + P330如果吞咽并觉不适: 立即呼叫解毒中心或就医。漱口。 P301 + P330 + P331如误吞咽：漱口。不要诱导呕吐。 P303 + P361 + P353如果皮肤（或头发）接触：立即除去∕脱掉所有沾污的衣物。用水清洗皮肤∕ 淋浴。 P304 + P340 + P310如果吸入：将受害人移至空气新鲜处并保持呼吸舒适的姿势休息。 立即呼叫解毒中心或就医。 P305 + P351 + P338 + P310如溅入眼睛，用水小心冲洗几分钟。如戴隐形眼镜且便于取出，取出隐形 眼镜，继续冲洗。立即呼叫解毒中心或就医。 P362 + P364脱掉所有沾染的衣服，清洗后方可重新使用。 储存 P405存放处须加锁。 废弃处置 P501将内装物/容器送到批准的废物处理厂处理。 2.3 其它危害物 - 无 模块3. 成分/组成信息 3.1 物 质 : F4Ti 分子式 : 123.86 g/mol 分子量 组分浓度或浓度范围 Titanium tetrafluoride 化学文摘登记号(CAS7783-63-3<= 100 % No.)232-017-6 模块4. 急救措施 4.1 必要的急救措施描述 一般的建议 请教医生。 向到现场的医生出示此安全技术说明书。 吸入 如果吸入,请将患者移到新鲜空气处。 如呼吸停止，进行人工呼吸。 请教医生。 皮肤接触 立即脱掉被污染的衣服和鞋。 用肥皂和大量的水冲洗。 请教医生。 眼睛接触 用大量水彻底冲洗至少15分钟并请教医生。 食入 禁止催吐。 切勿给失去知觉者喂食任何东西。 用水漱口。 请教医生。 4.2 最重要的症状和健康影响 该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。, 痉挛，发炎，咽喉肿痛, 痉挛，发炎，支气管炎, 肺炎, 肺水肿, 灼伤感：, 咳嗽, 喘息, 喉炎, 呼吸短促, 头痛, 恶心 据我们所知，此化学，物理和毒性性质尚未经完整的研究。 4.3 及时的医疗处理和所需的特殊处理的说明和指示 无数据资料 模块5. 消防措施 5.1 灭火介质 灭火方法及灭火剂 用水雾，耐醇泡沫，干粉或二氧化碳灭火。 5.2 源于此物质或混合物的特别的危害 氟化氢, 钛/氧化钛 5.3 给消防员的建议 如有必要，佩戴自给式呼吸器进行消防作业。 5.4 进一步信息 无数据资料 模块6. 泄露应急处理 6.1 人员防护措施、防护装备和应急处置程序 使用个人防护装备。 避免粉尘生成。 避免吸入蒸气、气雾或气体。 保证充分的通风。 将人员疏散到安全区域。 避免吸入粉尘。 6.2 环境保护措施 不要让产品进入下水道。 6.3 泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料 收集和处置时不要产生粉尘。 扫掉和铲掉。 放入合适的封闭的容器中待处理。 6.4 参考其他部分 丢弃处理请参阅第13节。 模块7. 操作处置与储存 7.1 安全操作的注意事项 避免接触皮肤和眼睛。 避免形成粉尘和气溶胶。 在有粉尘生成的地方,提供合适的排风设备。 7.2 安全储存的条件,包括任何不兼容性 贮存在阴凉处。 使容器保持密闭，储存在干燥通风处。 对湿度敏感 7.3 特定用途 无数据资料 模块8. 接触控制和个体防护 8.1 控制参数 职业接触限值 组分化学文摘登值控制参数依据 记号(CAS No.) Titanium7783-63-3PC-2 mg/m3工作场所有害因素职业接触限值 - tetrafluorideTWA化学有害因素 PC-2 mg/m3工作场所有害因素职业接触限值 - TWA化学有害因素 8.2 暴露控制 适当的技术控制 按照良好的工业卫生和安全规范进行操作。 休息前及工作结束时洗手。 个体防护装备 眼面防护 面罩與安全眼鏡请使用经官方标准如NIOSH (美国) 或 EN 166(欧盟) 检测与批准的设备防护眼部。 皮肤保护 戴手套取 手套在使用前必须受检查。 请使用合适的方法脱除手套(不要接触手套外部表面),避免任何皮肤部位接触此产品. 使用后请将被污染过的手套根据相关法律法规和有效的实验室规章程序谨慎处理. 请清洗并吹干双手 所选择的保护手套必须符合EU的89/686/EEC规定和从它衍生出来的EN 376标准。 完全接触 材料: 丁腈橡胶 最小的层厚度 0.11 mm 溶剂渗透时间: 480 min 飞溅保护 材料: 丁腈橡胶 最小的层厚度 0.11 mm 溶剂渗透时间: 480 min 测试方法 EN374 如果以溶剂形式应用或与其它物质混合应用，或在不同于EN 374规定的条件下应用，请与EC批准的手套的供应商联系。 这个推荐只是建议性的,并且务必让熟悉我们客户计划使用的特定情况的工业卫生学专家评估确认才可. 这不应该解释为在提供对任何特定使用情况方法的批准. 身体保护 全套防化学试剂工作服, 防护设备的类型必须根据特定工作场所中的危险物的浓度和数量来选择。 呼吸系统防护 如危险性评测显示需要使用空气净化的防毒面具，请使用全面罩式多功能微粒防毒面具N100型（US ）或P3型（EN 143）防毒面具筒作为工程控制的候补。如果防毒面具是保护的唯一方式，则使用全面罩式送风防毒 面具。 呼吸器使用经过测试并通过政府标准如NIOSH（US）或CEN（EU）的呼吸器和零件。 模块9. 理化特性 9.1 基本的理化特性的信息 a) 外观与性状 形状: 粉末 颜色: 白色 b) 气味 无数据资料 c) 气味阈值 无数据资料 d) pH值 无数据资料 e) 熔点/凝固点 无数据资料 f) 初沸点和沸程 无数据资料 g) 闪点 不适用 h) 蒸发速率 无数据资料 i) 易燃性(固体,气体) 无数据资料 j) 高的/低的燃烧性或爆炸性限度 无数据资料 k) 蒸气压 无数据资料 l) 蒸气密度 无数据资料 m) 密度/相对密度 2.798 g/cm3 在 25 °C n) 水溶性 无数据资料 o) 正辛醇/水分配系数 无数据资料 p) 自燃温度 无数据资料 q) 分解温度 无数据资料 r) 黏度 无数据资料 模块10. 稳定性和反应活性 10.1 反应性 无数据资料 10.2 稳定性 无数据资料 10.3 危险反应 无数据资料 10.4 应避免的条件 防治容器进水以免发生剧烈反应。 10.5 禁配物 强氧化剂 10.6 危险的分解产物 其他分解产物 - 无数据资料 模块11. 毒理学资料 11.1 毒理学影响的信息 急性毒性 无数据资料 皮肤腐蚀/刺激 无数据资料 严重眼睛损伤/眼刺激 无数据资料 呼吸或皮肤过敏 无数据资料 生殖细胞致突变性 无数据资料 致癌性 IARC: 3 - 第3组：未被分类为对人类致癌 (Titanium tetrafluoride) 生殖毒性 无数据资料 特异性靶器官系统毒性（一次接触） 无数据资料 特异性靶器官系统毒性（反复接触） 无数据资料 吸入危害 无数据资料 潜在的健康影响 吸入吸入有害。 该物质对组织、粘膜和上呼吸道破坏力强 食入吞咽有害。 引致灼伤。 皮肤通过皮肤吸收有害。 引起皮肤灼伤。 眼睛引起眼睛灼伤。 接触后的征兆和症状 该物质对粘膜组织和上呼吸道、眼睛和皮肤破坏巨大。, 痉挛，发炎，咽喉肿痛, 痉挛，发炎，支气管炎, 肺炎, 肺水肿, 灼伤感：, 咳嗽, 喘息, 喉炎, 呼吸短促, 头痛, 恶心 据我们所知，此化学，物理和毒性性质尚未经完整的研究。 附加说明 化学物质毒性作用登记: 无数据资料 模块12. 生态学资料 12.1 生态毒性 无数据资料 12.2 持久性和降解性 无数据资料 12.3 潜在的生物累积性 无数据资料 12.4 土壤中的迁移性 无数据资料 12.5 PBT和vPvB的结果评价 无数据资料 12.6 其他环境有害作用 无数据资料 模块13. 废弃处置 13.1 废物处理方法 产品 与易燃溶剂相溶或者相混合，在备有燃烧后处理和洗刷作用的化学焚化炉中燃烧 污染包装物 按未用产品处置。 模块14. 运输信息 欧洲陆运危规: 3260国际海运危规: 3260国际空运危规: 3260 14.2 联合国运输名称 欧洲陆运危规: CORROSIVE SOLID, ACIDIC, INORGANIC, N.O.S. (Titanium tetrafluoride) 国际海运危规: CORROSIVE SOLID, ACIDIC, INORGANIC, N.O.S. (Titanium tetrafluoride) 国际空运危规: Corrosive solid, acidic, inorganic, n.o.s. (Titanium tetrafluoride) 14.3 运输危险类别 欧洲陆运危规: 8国际海运危规: 8国际空运危规: 8 14.4 包裹组 欧洲陆运危规: II国际海运危规: II国际空运危规: II 14.5 环境危害 欧洲陆运危规: 否国际海运危规国际空运危规: 否 海洋污染物（是/否）: 否 14.6 特殊防范措施 无数据资料 模块 15 - 法规信息 N/A 模块16 - 其他信息 N/A

毒性和生态

生态学数据: 通常来说对水是不危害的，若无政府许可，勿将材料排入周围环境

安全

• 符号: GHS05, GHS07
• 信号词: Danger
• 危害声明: H302 + H312 + H332-H314
• 警示性声明: P260-P280-P301 + P312 + P330-P303 + P361 + P353-P304 + P340 + P310-P305 + P351 + P338
• 个人防护装备: Eyeshields;Faceshields;full-face particle respirator type N100 (US);Gloves;respirator cartridge type N100 (US);type P1 (EN143) respirator filter;type P3 (EN 143) respirator cartridges
• 危害码 (欧洲): C:Corrosive;
• 风险声明 (欧洲): R20/21/22;R34
• 安全声明 (欧洲): S26-S27-S28-S36/37/39-S45
• 危险品运输编码: UN 3260 8/PG 2
• WGK德国: 3
• 包装等级: II
• 危险类别: 8

合成路线

上下游产品

上游产品  9
7664-39-3 7550-45-0 7440-32-6 7782-41-4
13470-08-1 7705-07-9 7790-91-2 7783-81-5
1258515-14-8
下游产品  10
7782-41-4 7637-07-2 13537-16-1 7783-61-1
7783-60-0 2314-97-8 36140-35-9 7789-68-6
368-98-9 75-63-8

制备

1.以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛，将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中，滴加氟化氢使其反应，将反应物静置数小时，再徐徐加热，加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢，再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华，经冷却即得到四氟化钛粉末产品，用密封的铜制容器贮存

2.采用铜制或铂制的锥形瓶。将装有氯化钙的铜干燥管直接装在蒸馏管的导出部分或装在倾斜的冷凝器的下部。用冰盐水冷却剂对锥形瓶进行冷却，称量以冰冷却的氟化氢量。反应必须在通风橱中进行。称取根据氟化氢量所计算的四氯化钛量的一半装入试管中，往其中滴加氟化氢。每加一滴就引起激烈的反应，并产生氯化氢气。将烧瓶内的混合物放置数小时，直到所有的冰完全溶化为止（干燥管与蒸馏管连接在一起），接着将三角烧瓶移在油浴上，用附有铅冷凝器的铜收集器替换干燥管。当油浴的温度徐徐升至200℃以上时，就可蒸馏出含有氟化氢的氯化氢。随后去掉油浴，拆除冷凝器，用喷灯火焰加热使四氟化钛升华。而积聚于铜接受器中加以密封。接受器绕以铅盘管，铅管中通水进行冷却。蒸馏管在蒸馏过程中应经常加热，使装置不致堵塞。收率90%，生成物保存在密封的铜或铁制容器内。